音圈电机在高精度陶瓷基片激光微孔加工中的

案例名称：音圈电机在高精度陶瓷基片激光微孔加工中的应用

所属行业：精密加工行业

技术优势：

①双向重复定位精度：±1μm；

②平台具备快速定位能力，稳态时间＜100ms；

③2mm快速点定位，要求运动时间＜70ms；

④激光打孔工作时间15ms，要求单孔加工＜185ms，即5-6孔/min；

⑤XY单独运动，没有插补运动；

⑥材质陶瓷基片。