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直线电机应用于 COG 设备

2022-08-17 15:01:34

【所3C 
 
【使铁芯线 DD 使
 
【技
 
线电机平台 DD 使,将 IC   IC 气和机械互
 
线电机的重复+/-0.1μm。
 
DD 马达要求小,轻,重精度 3 

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