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音圈电机应用于高精度陶瓷基片激光微孔加工

2022-08-17 15:16:12

所属行业:
精密加工行业

技术优势:
   ①双向重复定位精度:±1μm;
   ②平台具备快速定位能力,稳态时间<100ms;
   ③2mm快速点定位,要求运动时间<70ms;
   ④激光打孔工作时间15ms,要求单孔加工<185ms,即5-6孔/min;
   ⑤XY单独运动,没有插补运动;
   ⑥材质陶瓷基片。

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